技术编号:1955064
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硬面光掩模基板制造领域以及光学玻璃加工领域,尤其是一 种用于硬面光掩模基板制造过程中的承载清洗器具。背景技术根据国家硬面光掩模基板标准,硬面光掩模基板标准长宽规格系列7项,标 准厚度规格系列6项。这些不同规格产品要经过切割、研磨抛光和清洗制程,在 生产过程中承载清洗器具对于简化工序操作,减少脆性材料的破损,提高清洗效 能有着关键性的影响。现有技术中硬面光掩模基板承载清洗器具采用的是篮筐式结构,如图1所示。 篮筐式承载清洗架在实际使用中存在一些...
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