技术编号:19569562
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高纯硅制备工艺技术领域,尤其涉及一种硅材料制作方法。背景技术随着科技的快速发展,硅在能源信息等领域中越来越发挥着举足轻重的作用。目前,碳热还原法是生产粗硅的主要方法,但是该冶炼流程涉及到生产过程能耗高、污染重,并且存在产物中多种杂质元素含量过高的问题。而高纯硅的制备工艺是采用西门子法,该工艺生产流程长,对设备要求高,并且在生产过程中会有大量废气产生,致使通过该方法制备高纯硅的成本居高不下。因此,放眼世界范围内的环境问题和能源危机,实现硅材料尤其是高纯晶体硅的低成本、短流程制备就具有重要...
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