技术编号:1958588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有钇、镥和镱中的至少一种的,所述烧结体用于放电灯用管、激光器基质材料和半导体制造装置的等离子监视耐腐蚀窗材。背景技术 迄今为止,作为透光性氧化钇烧结体、透光性氧化镥烧结体或透光性氧化镱烧结体的制造方法,一种公知的技术是,在1450℃~1700℃的温度下,在氢气、惰性气体、氢气-惰性气体的混合气体或真空气氛中,将在氧化钇、氧化镥和氧化镱之一中包含以金属计5重量ppm~100重量ppm的铝和10重量ppm以下的硅的成型体烧结0.5小时以上(例如,日...
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