技术编号:1960218
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微加工工艺,特别是涉及一种玻璃材料高深宽比微结构二次约 束流动刻蚀方法。 背景技术近10年来,微机电技术逐渐成熟,其中微流控系统以其功能高度集成性及广泛的适用性而倍受瞩目。目前可以用于微流体器件制作的材料主要有硅、玻 璃以及一些有机材料。与其它材料相比,玻璃因为具有良好的透光性和较高的 强度,所以在很多微流体器件之中具有不可替代作用,应用十分广泛。但是对 平板玻璃的微加工主要采用化学湿法刻蚀的方法,由于玻璃属于各向同性材料, 因此通过光刻及湿法刻...
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