技术编号：1962184
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到无机薄膜制备，尤其是一种新型超声喷雾热解薄膜制备装置。背景技术无机薄膜在太阳能光电光热利用、节能镀膜玻璃、光电子通讯等领域具有重要的 应用。无机薄膜的制备方法主要包括磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法、溶胶_凝 胶法、以及喷雾热解法等。前三种镀膜方式具有膜层均匀致密、容易控制膜厚、膜层附着力 强等优点，但存在制备成本高昂、设备复杂等不足之处；尽管溶胶_凝胶法具有制备成本低 廉的优点，但薄膜均匀性不理想，且不便于连续化生产。为此，喷雾热解法受...
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