技术编号:1966668
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于使氧化锌类半导体生长的氧化锌类基板以及该基板的制造方法。 背景技术组成简单、廉价且具有直接跃迁的宽间隙的氧化锌类半导体受到瞩目。这样的氧 化锌类半导体已被应用于TFT、表面声波器件、发光二极管及激光器等。此外,正如非专利文 献1及非专利文献2中的记载,自从由氧化锌类半导体引起的发光得到了确认之后,围绕氧 化锌类半导体的研究更为盛行。这里,氧化锌类半导体中具有氧,而氧是可与各种元素形成化合物、且化学活性非 常高的元素。因此,在制造氧化锌类半导体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。