技术编号：19667027
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例涉及将形成有凹凸部的压力传感器部层叠成多层实现多种感测性能的压力传感器及其制造方法。背景技术压力传感器是感测垂直方向的压力的装置，按感测压力的原理存在多种类型，作为一例有压阻型压力传感器、压电型压力传感器、电容型压力传感器、织物压力传感器等。尤其，利用橡胶的压力传感器(以下称为“橡胶压力传感器”)通过监控随着橡胶中所含的导电粒子移动发生的电子信号的变化感测压力。另外，橡胶压力传感器的压力敏感度通过压力弹性系数(模量)或橡胶中所含的导电粒子的量得到调节。即，压力弹性系数越小或导电粒子...
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