技术编号:1967205
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及加热技术,具体为一种用于CdTe薄膜太阳电池生产线玻璃基片的传 输与加热的真空锁过渡腔室。背景技术CdTe薄膜太阳电池生产线上的玻璃基片需要加热。现有的玻璃基片加热有两 种方式一种加热方式是非连续的真空加热。它把玻璃基片放进加热腔,然后抽真空, 直到真空度达到要求再加热,达到所需要的温度和大气压后,取出玻璃基片。这种加热 方式没有真空过渡腔室,工艺过程不连续,工序复杂,生产效率低。另一种加热方式是 在大气压环境下的连续加热。这种方式也不需要设置真...
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