Z板籽晶块z面x向角度控制切割工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:1967336

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本发明涉及一种Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺,属于Z板籽晶切割技术 领域。背景技术传统工艺在切割Z板籽晶时,专用的校角仪只能校正Z面Y向角差,而Z面X方向 的角差,只能靠Z板原晶自身的角度及切割设备的精度来控制,且传统切割工艺只能将X向 角差控制在士20'以内;当X向角差较大时,由于Z板籽晶的角度与Z板原晶板材Z面角度 不一致,在Z板原晶板材Z面加工到位以后,切下棒材的Z板籽晶存在偏斜现象,从图1中 可以看出,从Z板原晶1的-X面到+X面,Z板籽晶2的...
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