技术编号:1968133
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高温处理设备用炭/炭保温结构的加工制造,尤其是涉及一 种炭/炭保温结构的加工制作方法。背景技术2007年07月11日公开的发明专利申请200610136811. X中,公开了一种硅晶体生 长炉用高纯固化炭毡的制造方法,其加工制造过程主要包括选用石墨软毡、固化-炭化、化 学气相沉积、机械加工、高温处理和表层涂刷处理等步骤。2009年06月M日公开的发明 专利申请200810030753. 1中涉及了一种内层高密度、外层低密度结构,其为经密度梯度预 ...
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