技术编号：19689531
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于对物体的表面以介电阻挡方式进行等离子体处理的电极装置，其具有至少一个柔性的面状的电极和由面状的柔性的第一材料构成的电介质，所述电介质借助于阻碍直接的电流流动的层保护电极免受待处理的表面影响，其中电介质能够经由具有突出部的结构放置在待处理的表面上并且在此在突出部之间构成用来构成等离子体的空气腔，所述空气腔具有朝向待处理的表面敞开的侧和通过电介质的阻碍直接的电流流动的层形成的底部侧的封闭部。背景技术电极装置的至少一个电极可与对于产生等离子体而言必要的高压连接，所述高压优选用作为交变...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。