技术编号：1969585

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本发明涉及用于液晶显示器(LCD)制造工艺中的光致抗蚀剂(PR)或有机材料涂布工艺的涂布装置，更具体地说，涉及能够管理喷嘴的前端而不需要预备处理(priming) 的涂布装置，以及利用该涂布装置形成涂布层的方法。背景技术一般地说，制造使用薄膜晶体管(TFT)的液晶显示模块的工艺分为TFT工艺、单元工艺和模块工艺。在TFT工艺中，TFT按照阵列重复地形成在玻璃基板上。TFT工艺包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺，其将沉积所需的气体导入真空室，并在...
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