技术编号:1971877
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及采用多线切割法加工硅片过程中所产生废料的回收利用,尤其是涉及。背景技术目前光伏电池硅片和半导体硅片的产业化生产采用多线切割方式。多线切割加工生产所用的主要耗材是特制的碳化硅线切割专用刃具和聚乙二醇切削液混配而成的料浆。以当前的技术水平,每生产1MW的太阳能级单晶硅片需消耗碳化硅专用刃料10-14吨,切削液10-14吨。长期以来,这些经过使用的废弃浆料(其主要含量为碳化硅、硅微粉、聚乙二醇切割液、金属杂质和水),已成为硅片切割行业的沉重负担,大量的...
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