半导体结构与半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:19721439

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本公开涉及半导体器件制造领域,更具体地,涉及一种半导体结构与半导体器件。背景技术众所周知,pn结是分立器件或者集成电路制造中的基本结构单元。一个制作良好的pn结拥有极好的开关特性,或稳压特性。随着应用的不同也衍生出诸如pin管、tvs管、开关管、整流管等多种分立器件。在集成电路中经常用来制作隔离、基极、发射极、源漏极等等多种功能区。一个pn结的反向电压是稳定的,pn结的反向击穿电压受势垒区或者空间电荷区的宽度影响,因此一个pn结的击穿电压往往受浓度较低的那一侧影响更大。例如一个浓度较高的n型硅和...
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