技术编号:19732574
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测设备技术领域,具体涉及一种薄膜真空计。背景技术真空计是测量真空度或气压的仪器,是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可以将真空计分为主要的三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。其中,薄膜真空计为利用力学性能的真空计,薄膜真空计的核心部件为一片径向性辐射拉伸应力状态的膜片,该膜片将外压力测试压力腔体与参考压力腔隔开,参考压力腔内压力值恒定,测试压力腔室中压力的变化会产生两个腔体压差的变化,...
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