技术编号：19746965
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的示例涉及用于检测摆动体的摆动幅度、调节摆动体的摆动幅度和/或检测摆动体的摆动方向的设备和方法，该摆动体围绕摆动轴线摆动。本发明的示例涉及与mems元件(mems＝microelectromechanicalsystem＝mikro-elektro-mechanischessystem微机电系统)相关联的相应设备和方法，该元件具有主体，该主体经由悬架结构与支撑体机械耦合，以围绕摆动轴线或旋转轴线摆动。背景技术采样mems镜被使用在许多应用中，例如视频投影仪、用于通信网络的光学开关、激光打印...
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