技术编号:19749087
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及合金靶材及粉末冶金材料加工技术领域,具体涉及一种al-sc-x多元合金靶材及其制备方法。背景技术真空溅射镀膜技术是针对金属、陶瓷、玻璃、高分子等各种材料表面处理和表面改性的一种重要技术,通过在各种材料表面的真空溅射镀膜,可以调整和改善各种材料的表面物理、化学特性,从而提高材料在特定应用场景下的服役性能。目前,真空溅射镀膜技术已经在电子半导体材料、医学材料、建筑用材、工模具材料等众多领域获得广泛应用。真空溅射镀膜进行材料表面改性处理的关键应用技术之一,是将固态靶材中的元素在电离作用下直接...
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