微型压电泵模块的制作方法技术资料下载

技术编号:19753042

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本案是关于一种微型压电泵模块,尤指一种可降低开关机时的噪音,且能持续保持较佳的传输效率的微型压电泵模块。背景技术当前各产业中的产品无一不朝向微小化的方向发展,而微型泵作为流体传输装置更是其中的关键,因此,如何将微型泵达到体积小、静音以及具有良好的流体输送效果为当前科技产业重要的命题;图1a及图1b为目前的微型压电泵结构,将驱动电压施加于微型压电泵200的压电件201上,使压电件201因压电效应而产生形变进而带动振动板202以及共振片203上下位移,而振动板202及共振片203上下位移时会压缩、扩...
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