技术编号:1978582
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种 光电材料,具体地说,本发明是一种透明导电膜用ZD(H)O材料及 其制备方法。背景技术目前,透明导电薄膜是液晶显示、平板显示、静电屏蔽、太阳能电池必需的功能材 料,普遍方法是以ITO半导体陶瓷(90% In2O3-IO% SnO2)作为溅射源,在氩气或氩氧混合 气氛中基板100-550°C下磁控溅射法制备ITO透明导电薄膜,所制备的透明导电薄膜可见 光透过率> 85%,且电阻率小于IX 10_4 Ω .cm。由于ITO材料中的主组成原料...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。