技术编号：19789903
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请是申请号为201510981164.1、申请日为2015年12月23日、发明名称为“基板输送装置和基板输送方法”的发明专利申请的分案申请。本发明涉及基板输送装置和基板输送方法。背景技术以往，作为用于输送半导体晶圆、玻璃基板等基板的基板输送装置，公知有一种包括能够绕铅垂轴线旋转的基座和以相对于该基座进退自如的方式设置的叉的基板输送装置。在这种基板输送装置中，存在设有用于对由叉保持着的基板有无错位进行判断的传感器的基板输送装置。例如，在专利文献1中，公开了如下基板输送装置，在该基板输送装置中，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。