技术编号:1979278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种夹具,特别涉及一种切割硅片用夹具,属于硅片加工工具的技术 领域。背景技术硅片加工前,要先将硅晶板切割分体成块状。现有的硅片切割设备中,对硅晶板 的夹紧方式,普遍采用固定气缸夹紧、移动气缸夹紧或无杆气缸夹紧等方式。上述夹紧方 式中,固定夹紧方式应用最为普遍,但其成本高;无杆气缸移动速度慢,且由于是单边夹紧, 夹紧力不均勻,容易使硅晶板划损,且出现加工的硅晶块不规范,如切缝与表面不垂直等现 象;移动气缸夹紧虽然克服了上述现象,但存在成本高的问题。...
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