线锯装置的制作方法技术资料下载

技术编号:1980931

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本实用新型的实施例涉及线锯装置以及用于操作线锯装置的方法。更具体地,它们涉及具有改善的高等级特性并且用于对硬材料(诸如硅或石英的块)进行切割或锯切的线锯装置,例如,用于切割硅晶片,用于平方体(Squarer)、用于裁剪器等。背景技术存在一种线锯装置,其用于从一件硬的或脆的材料(诸如硅)切割出方块或砖块、薄的切片(例如半导体晶片)。在这种装置中,绷紧的线被从线轴馈送出来并且由用于在切割区域中对线进行引导的滑轮引导和张紧。用于进行锯切的线主要设置有研磨剂材料。...
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