技术编号:1981300
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及Bi2O3-ZnO-B2O3体系的玻璃粉末。该玻璃具有低的熔点,且提供良好的流动特性,且具有低和可调的结晶趋势。背景技术微型电机系统(MEMS)装置是进行工作或测量的微型机械如加速计、速率传感器、制动器、压力传感器等。信号线将MEMS装置电连接至微处理器和/或其它电路。MEMS装置受到湿气、脏空气、灰尘和其它外来物质进入机械且引起过早损坏或者其它阻碍MEMS装置操作的可能性的损害。通常使用丝网印刷施加MEMS装置制造中使用的密封玻璃组合物,在丝网...
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