技术编号:1983073
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种由エ件切分晶圆的方法,其中,在锯切操作过程中,锯切线的以平行方式布置的线段被相对于エ件弓I导,因此形成晶圆。现有技术这种类型的方法使用线状锯进行。例如,在US 2002/0174861 Al或US2010/0089377 Al中描述了线状锯的基本结构和功能。因此,适当的线状锯包括至少两个导线辊,锯切线围绕其多重缠绕。这产生了张紧在两个导线辊之间并且以平行的形式设置的线段,并且这些线段形成线网,在锯切操作过程中エ件被移动穿过线网。还已知了其中线...
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