技术编号:1983347
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及静电卡盘的制法和静电卡盘。背景技术以往,作为静电卡盘的制法,已知有2层结构的静电卡盘的制法、3层结构的静电卡盘的制法。作为前者,已知有包含如下工序的制法形成氧化铝烧结体的工序;在该氧化铝烧结体上印刷静电电极用的电极糊的工序;在该电极糊上填充氧化铝粉体而进行金属模具成型的工序;以及将在金属模具成型的工序中被一体化的成型体烧成的工序(参照专利文献I)。该专利文献I中,还公开了使用氧化铝煅烧体来代替氧化铝烧结体。 另一方面,作为后者,已知有包含如下工序...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。