技术编号：19836480
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及半导体处理技术领域，具体而言，本申请涉及一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。背景技术目前，随着国内半导体市场的持续火热以及市场对于相关产品的巨大需求，客户对于半导体设备的产能需求越来越高，同时对于成本要求也越来越高。而伴随着国内老龄化趋势越来越明显，人工成本也逐渐水涨船高。如何解决上述难题便摆在每个半导体设备供应商的面前。目前，国内槽式清洗设备还普遍使用人工上下料，即由人工将承载有待清洗晶圆的花篮放置到清洗设备的上料位，待清洗完毕后再由人工从下料位将花篮取走。现阶段采用单个花篮或...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。