技术编号:1984044
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及滤波器领域,尤其涉及。背景技术超材料是近十年来发展起来的对电磁波起调制作用的材料。超材料一般是由一定数量的金属微结构附在具有一定力学、电磁学的基板上,这些具有特定图案和材质的微结构会对经过其身的特定频段的电磁波产生调制作用。超材料谐振子是指含金属微结构的微波陶瓷谐振子,用于制作小体积高性能的滤波器。超材料谐振子一般用低温共烧工艺,即在无压力条件下烧结。但LTCC工艺较难掌握,存在不少技术难题。例如无压空气中烧结导致分层和翘曲现象;为了保护较低的烧...
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