技术编号:19866612
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气相沉积炉,尤其涉及一种气相沉积炉内气体悬浮装置。背景技术气相沉积的基本原理涉及反应化学、热力学、动力学、转移机理、膜生长现象和反应工程。主要以金属蒸气、挥发性金属卤化物、氢化物或金属有机化合物等蒸气为原料,进行气相热分解反应,以及两种以上单质或化合物的反应,再凝聚生成各种形态的材料。化学气相沉积工艺中,沉积薄膜的均匀性极为重要,薄膜的均匀性主要受到炉内气体分布的影响。化学气相沉积过程是一个极为复杂的化学过程,气体是否均匀分布会对工艺的沉积速率、膜层的致密性、薄膜均匀性等产生较大影响。...
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