技术编号：19868418
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体装置及其制作工艺，尤其是涉及一种由前插塞(pre-plug)导电层构成部分内连接系统的半导体装置及其制作工艺。背景技术半导体集成电路是现代化信息社会最重要的硬件基础之一，如何提高集成电路的集成度，让集成电路的布局面积能够更有效率地被运用，也成为现代半导体工业的研发重点。一般来说，功能复杂的集成电路是由一群具有基本功能的标准元件组合而成的。然而，由于各种元件需要的设置面积彼此差异，因此，将多种元件混合置放常会牺牲芯片珍贵的面积，并且增加布局设计与制作工艺的复杂度。因此，目前仍然...
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