一种用于蓝宝石切片的冷却液喷射装置的制作方法技术资料下载

技术编号:1987510

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本发明涉及LED蓝宝石衬底生产加工领域,尤其涉及一种用于蓝宝石切片的冷却液喷射装置。背景技术LED作为一种新型的将电能转化为可见光的半导体发光器件已经越来越受到人们的关注,与其相关的生产工艺及生产设备也得到了迅猛的发展。一直以来,蓝宝石衬底价格的居高不下,严重制约了 LED光源的市场普及速度。其主要是由于蓝宝石衬底的加工效率和产品合格率低下所造成的,为了降低蓝宝石衬底的价格,提高衬底的生产效率和合格率,工程师们发明了金刚石多线切片机来替代以往的外圆切片机,...
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