技术编号:1987765
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种图案化陶瓷,尤其是涉及。背景技术微机电系统(MEMS)正在全世界范围内蓬勃发展,各种MEMS器件,如基于MEMS技术的喷墨打印头、压力传感器、流量计、加速度计、陀螺仪、非冷却红外成像仪和光学投影仪等设备被不断研发出来。目前,MEMS器件主要基于硅微加工技术,限制了 MEMS在高温腐蚀环境中的应用,因此耐高温抗腐蚀的MEMS器件的研制正日益受到研究者的关注。传统的陶瓷粉末烧结法费时耗能,且制备的陶瓷微器件形状简单,孔隙率高,精度·低,表面粗糙,...
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