技术编号:19883566
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池生产pecvd技术领域,具体为一种清理炉管碎片的耙子。背景技术目前,现有的太阳能电池生产pecvd工序,通常使用的为管式pecvd。在管式pecvd生产过程中,需要把插满硅片的石墨舟送进炉管,待镀膜结束后在把石墨舟拉出来,插满硅片的石墨舟每次在炉管里面的时间为30分钟左右,炉管内温度在450℃左右,1)硅片受在升温降温的过程中因热胀冷缩,少部分质量差的硅片会碎裂从而掉在炉管内;2)硅片插进石墨舟是通过石墨舟上的三个定位柱固定的,硅片如果没插好会造成碎片或整张硅片掉在炉管内...
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