技术编号:1990758
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。腐蚀抑制组合物 本申请涉及在水,氧气或高离子活性水溶液或半水溶液存在下金属和金属合金 的腐蚀抑制组合物。更特别地,提供包括单体螯合剂的腐蚀抑制组合物,其与包括铁或 铁合金的基体金属,例如钢,和与水溶剂和/或有机溶剂一起使用的成膜聚合物螯合剂 一起形成5-8元环螯合结构。背景技术在使用各种金属例如铝,铝合金,钛,钛合金,钛/钨,钨,铜等的半导体工 业中所使用的清洗和剥离组合物中通常含有腐蚀抑制剂。按不同功能分类腐蚀抑制剂化合物可以分类如下1.螯合剂2.还原剂...
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