技术编号：19915880
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种表面改性设备，特别涉及一种射频等离子体氧化氮化设备。背景技术在医疗器械、加工工具或者机械零部件的制造过程中，对其进行适当的氧化或氮化将能够大大提高产品的服役性能和使用寿命。现有的渗氧、渗氮工艺和设备普遍存在以下几个问题：一、热处理工艺下的渗氧\渗氮设备，如真空渗氧\渗氮炉等设备需要在高温下进行，其耗费能量大，危险系数高；二、使用高浓度氧化剂的传统化学氧化设备，其常用的氧化剂为重铬酸钠，该化学物质具有较强的毒性，且化学废料较难处理，极易造成环境污染；三、传统的电解式渗氮工艺耗费时...
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