技术编号:1994869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种硅棒切割加工过程中加热硅棒,加快胶水的硬化时间的硅棒加热器。背景技术硅棒、玻璃基板和晶托冶具粘结好后需要对胶水进行加热,加快胶水的硬化时间,去除胶的应カ层。常规的加热方法是将粘结好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具搬运至加热箱内,这样容易造成硅棒表面的损伤。如果将粘结平台整体进行加热,加热器的尺寸和功率需要很大,成本较高。发明内容本实用新型目的在于针对现有技术的缺陷提供ー种节省空间,成本较低的硅棒加热器。本实用新型为实现上述目的,采用如下技术方案...
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