技术编号:19965726
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池片生产中的原子沉积设备零部件技术领域,特别涉及一种水平载片舟及其托架结构。背景技术在生产太阳能电池片的管式原子层沉积设备(ald)中,需要使用载片舟来装载硅片进入加热腔室内进行原子沉积。目前,通常使用的方法是将硅片批量垂直放置在载片舟上,使硅片平行于加热腔室内气体流动方向,蒸镀后的硅片正反两面均匀镀上al2o3膜,为了进一步提升电池片的转化效率,需要对镀膜后的硅片进行背钝化工艺,即使用浆料将硅片背面的al2o3膜去除,采用此方法处理后的硅片在后续的丝网印刷步骤中需要特定的...
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