一种玻璃基板搬送装置的制作方法技术资料下载

技术编号:19980605

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本发明涉及玻璃基板搬送装置,尤其是在tft-lcd行业中玻璃基板清洗用的玻璃基板搬送装置。背景技术我们知道,在tft-lcd行业的玻璃基板清洗工艺中,为了满足设备紧凑、占据空间小的需求以及配合前后工序,玻璃基板的需要,对玻璃基板需进行水平移动及在上层、下层间的转运操作。现有的玻璃基板清洗工艺中,完成上述运动的装置是:设有支撑架,支撑架上层设有水平的(直线)导轨,导轨上设有沿导轨水平移动的玻璃基板支撑架,支撑架的下层水平设有滚轮轴传送装置,导轨和滚轮轴传送装置的另一侧设有鱼骨形的倒换支架,倒换支架...
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