技术编号：20003901
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅微机械传感器技术领域，尤其涉及一种对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计。背景技术作为mems技术的一个重要应用领域，硅微加速度计以低成本、小体积、低功耗、易集成、高可靠性等优点，已广泛应用于惯性测量各个领域。电容式硅微加速度计以其制作工艺简单、重复性好、漂移低等优良特性，成为目前研制最多、应用最广的惯性器件之一。随着技术的发展，对mems加速度计的性能要求越来越高，而外界应力和温度对mems电容式加速度计性能的影响尤为显著。电容式加速度计的基本工作原理是待测加速度产生的惯性力引起...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。