技术编号:20020075
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于显示技术领域,尤其涉及一种水晶探头遮罩装置。背景技术oled器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜,在蒸镀过程中,采用晶振片进行蒸镀速率及膜厚监测。蒸镀的材料通过膜厚检测装置的开口区沉积到晶振片上,利用晶振片固有频率及膜厚的线性关系来显示实时镀率及膜厚。随着膜厚的增加,晶振片基频下降,若下降太多可能导致晶振片发生跳频现象,造成监测的膜厚不准确。因此在晶振片上沉积一定的厚度后,需要及时更换晶振片。而更换晶振片时需停机开腔处理,影响产能。另外,蒸镀水晶探头晶振片保持架的遮罩上设有开口,且开口直径...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。