技术编号:20044980
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造自动化设备技术领域,尤其涉及一种单臂组合设备调度方法、系统、移动终端及存储介质。背景技术近年来,由于市场需求扩大、投资环境的日益改善以及全球半导体产业向中国转移等原因,我国集成电路产业发展保持持续增长,进一步刺激了单晶硅、多晶硅等基础材料需求量的增长。组合设备作为制造硅晶圆最关键的一类设备,其高度自动化制造系统可以有效地应对市场需求。但是,晶圆片包含多层电路、加工环境高温高压,调度与控制该制造系统投入生产并不易。研究组合设备在不同运行环境下的调度与控制要求,成为该领域关注的焦...
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