技术编号：20054190
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅锭加工技术领域，特别涉及一种多晶硅料清洗装置。背景技术硅片是电子产品制造中重要的原材料,由硅锭加工制成，硅锭由多晶硅料铸造而成；所以可以说，多晶硅料的纯度直接决定了硅片的质量。通常在铸锭前需要对多晶硅料进行清洗以提高其纯度。清洗多晶硅料时，先进行酸液浸泡，流动的酸液带着杂质从容器壁上留有的开口中流出，从而实现对多晶硅料的除杂清洗。一方面，有些多晶硅料体积较小，为了减少清洗中多晶硅料的流失，容器壁上的开口设计是密密麻麻的小孔，容易堵塞，阻碍酸液的流动，进而不利于酸液冲洗除杂的进行；...
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