技术编号：20063491
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及单色仪的技术领域，特别是涉及一种多通道真空极紫外-软x射线单色仪。背景技术软x射线-真空极紫外光源的迅速发展，尤其是同步辐射、电子轰击靶光源、气体放电光源、等离子体箍缩光源和激光等离子体x射线光源等的发展，对真空极紫外、x射线源的诊断、能谱测量提出了更高的要求，该波段的单色化技术可极大的裨益于x射线反射率测量、软x射线光刻、软x射线显微技术，以及荧光光谱、散射光谱实验等相关的研究。基于传统平面光栅的单色仪，如同步辐射束线u10、2016年魏来等人提出的10-1000ev单色仪，不仅包含...
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