技术编号：20076860
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本揭示内容是关于微影光罩用的保护膜。背景技术保护膜(pellicle)是在一框架上方拉伸的薄透明膜，其粘合在光罩的一侧上方，以保护光罩免受破坏、灰尘和/或湿气。在极紫外光微影中，通常需要在极紫外光波长区域具有高的透明度、高的机械强度、和低的热膨胀的保护膜。发明内容本揭容的一态样提供了一种极紫外光光罩用的保护膜，包含：第一覆盖层、基质层、第二覆盖层、以及金属层。基质层设置在第一覆盖层上方。第二覆盖层设置在基质层上方。金属层设置在第二覆盖层上方。附图说明本揭示内容的各方面，可由以下的详细描述，并与所...
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