技术编号:2007785
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种厚膜材料的制备方法,特别涉及一种钛酸锶钡(以下简称BST)厚 膜材料的制备方法。背景技术铁电厚膜材料是一种价格低廉,可以工作在射频波段,且具有一定的抗不良的电磁环境能力的新型调谐材料,用于制备军用移相器。它的优势在于一方面,厚膜材料较体 材厚度已经大大降低,所需的驱动电压亦大大降低,可用于微波电路设计;另一方,厚膜材 料较薄膜材料有更低的表面应力,材料的介电特性和抗老化能力得到保证,提高了移相器 在不良的电磁环境中的生存能力。而钛酸锶钡(Ba...
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