技术编号:2008205
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅片脱胶机。 背景技术在多线切割晶棒生产硅片的过程中,对切割好的硅片传统采用手工进行脱胶,因 脱胶过程中对力度、温度掌握不均勻,且不稳定,易出现硅片崩边、毛边、氧化等现象,产生 废片。发明内容本发明的目的是提供能减少硅片在脱胶过程中产生崩边、毛边、氧化现象的一种 硅片脱胶机。本发明采取的技术方案是一种硅片脱胶机,它包括直立轨道、上滑动轨道、下滑 动轨道、导向轮、脱胶槽、硅片盒、提升机、加热管、定滑轮、纲绳和偏心轮及组件,其特征在 于上滑动轨道...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。