技术编号:2011438
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及氧化物材料和溅射靶,以及利用溅射靶,通过溅射法成膜 而成的透明导电膜。背景技术含锡的钛铁矿结构化合物(ZnSn03等)广泛应用于气体传感器、温度传 感器、太阳能电池电极、透明导电材料等,因此备受瞩目。另一方面,包 含ZnSn03在内的钛铁矿结构化合物的生成非常困难,此外,在超过700 'C的温度条件下,会产生用"2ZnSn03—Zn2Sn04+Sn02"表示的反应而不 能稳定存在(非特许文献1~4)。因此,要求一种具有热稳定性的含锡的钛 铁矿结构...
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