技术编号:2011739
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,且更具体地说,涉及一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,其中在相对较短时间内将基座温度强行冷却到适当水平,以使得用于维护/修理设备的等待时间减少。因此,改进了生产率,并限制了工艺损失的产生。背景技术 平板显示器已广泛用于例如个人便携式终端、电视机和计算机监视器的产品。平板显示器的类型是多种多样的,例如阴极射线管(cathode ray tube,CRT)、液晶显示器(liquid crystal displa...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。