技术编号：20119944
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及用于感测真空环境中的压力的系统和方法。更具体地，所公开的实施方案涉及电容压力计。背景技术对于许多真空沉积工艺，必须测量或控制真空腔室中组分的蒸气压。为此目的存在多种计量器，包括离子计(基于热离子产生)、皮拉尼计(pirani计量计)(基于热传导)、潘宁计(penning计量计)(基于等离子体电离)和电容压力计类型。但是，离子计仅在受限的低压力范围内使用并且易受污染。热导计通常不准确。潘宁计具有与离子计相同的缺点。已知的电容压力计不适合在极端环境中(例如，在高温或恶劣的腐蚀性反应物存在时...
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