技术编号:2012261
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于化学气相沉积(CVD)镀膜前驱液的气化器,尤其是用于浮法玻璃在线化学气相沉积工艺中的前驱液的气化器。背景技术在20世纪70年代,人们开始尝试CVD与平板玻璃生产线结合在一起的在线工艺,试图用它在大面积平板玻璃上进行镀膜。采用这种工艺生产出来的第一个产品是英国皮尔金顿公司生产的“Reflectafloat”阳光控制膜。与用于生产半导体部件产品相反的是,在平板玻璃应用中,吹过玻璃表面的镀膜气体气流与周围气压属于湍流的范围。这样,在大面积玻璃表...
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