技术编号:2012805
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于一种采用溶胶一凝胶法制备非铅系铁电薄膜。 背景技术在过去的几十年当中,各种各样的薄膜制备方法被采用来制备铁电薄膜,其中包括不同的物理气相沉积技术等离子体溅射沉积(PSD)和离子子束溅射沉积(msD)、脉冲激光闪 蒸沉积(PLAD)、电子束或电炉中分子束蒸发外延(MBE)、金属有机气相沉积法(MOCVD)、 化学溶解法(MOD例如溶胶一凝胶过程和金属有机沉积法)[1—1Q]。众所周知,在利用以上 方法制备薄膜的过程中都需要对薄膜进行高温处理(>...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。